সিলিকন নাইট্রাইড প্রস্তুত করার প্রক্রিয়া।

সিলিকন নাইট্রাইড উত্পাদনের পদ্ধতিটি উপাদানটির স্ফটিক পর্যায়ে, বিশুদ্ধতা এবং কম্প্যাক্টনেসের উপর একটি উল্লেখযোগ্য প্রভাব ফেলে। প্রয়োগের প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে, বিভিন্ন প্রস্তুতির পদ্ধতি বিভিন্ন বৈশিষ্ট্য সহ সিলিকন নাইট্রাইড উপকরণ তৈরি করতে পারে।

উ: সরাসরি নাইট্রাইডিং পদ্ধতি
পদ্ধতি ওভারভিউ

ডাইরেক্ট নাইট্রাইডিং - হল এমন একটি প্রক্রিয়া যেখানে সিলিকন বাষ্প এবং নাইট্রোজেন উচ্চ তাপমাত্রায় বিক্রিয়া করে সিলিকন নাইট্রাইড তৈরি করে, সাধারণত 1400 ডিগ্রি থেকে 1500 ডিগ্রি তাপমাত্রায়, মিশ্র ফেজ উপাদান তৈরি করতে -Si₃N₄ এবং {{4}₄}Si₄।

প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ এবং প্রযোজ্য পরিস্থিতি

সরাসরি নাইট্রাইডিং পদ্ধতিটি বড় আকারের উৎপাদনের জন্য উপযুক্ত, তবে পণ্যের অভিন্নতা এবং কম্প্যাক্টনেস নিশ্চিত করতে তাপমাত্রা, নাইট্রোজেন বিশুদ্ধতা এবং প্রবাহ হারের মতো পরামিতিগুলির কঠোর নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন। এই পদ্ধতিটি বাল্ক সিলিকন নাইট্রাইড উপকরণ তৈরির জন্য উপযুক্ত, যা শিল্প কাঠামোগত সিরামিক উত্পাদনে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

B. বাষ্প জমা (CVD)
নীতি

রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) - হল একটি প্রক্রিয়া যেখানে সিলেন (SiH₄) এবং অ্যামোনিয়া (NH₃) উচ্চ তাপমাত্রায় বিক্রিয়া করে সিলিকন নাইট্রাইডের পাতলা ফিল্ম তৈরি করে। প্রতিক্রিয়া গ্যাসের অনুপাত এবং প্রবাহের হার নিয়ন্ত্রণ করে, অভিন্ন বেধ এবং উচ্চ বিশুদ্ধতা সহ সিলিকন নাইট্রাইড ফিল্মগুলি প্রাপ্ত করা যেতে পারে।

সুবিধা এবং অসুবিধা:

সিভিডি দ্বারা উত্পাদিত সিলিকন নাইট্রাইড পাতলা ফিল্মগুলির উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং উচ্চ কম্প্যাক্টনেস রয়েছে, তবে এই পদ্ধতির সরঞ্জামগুলি জটিল এবং ব্যয়বহুল এবং এটি সেমিকন্ডাক্টর এবং মাইক্রোইলেক্ট্রনিক ডিভাইসগুলিতে পাতলা ফিল্ম তৈরির জন্য উপযুক্ত।

C. উচ্চ চাপ নাইট্রাইডিং
অপারেটিং নীতি এবং সরঞ্জাম প্রয়োজনীয়তা

উচ্চ চাপ নাইট্রাইডিং পদ্ধতি উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ চাপে নাইট্রাইডিং প্রতিক্রিয়া পরিচালনা করে সিলিকন নাইট্রাইডের ঘনত্ব এবং শক্তি উন্নত করে। উচ্চ চাপ পরিবেশ সিলিকন এবং নাইট্রোজেনের প্রতিক্রিয়া প্রচার করে, প্রতিক্রিয়া সময় হ্রাস করে।

এই পদ্ধতিটি উচ্চ-ঘনত্বের স্ট্রাকচারাল সিরামিক তৈরির জন্য উপযুক্ত এবং প্রায়শই উচ্চ-ক্ষমতার প্রয়োজনীয়তা সহ সিলিকন নাইট্রাইড উপকরণ তৈরিতে ব্যবহৃত হয়, যেমন উচ্চ-কার্যকারিতা বিয়ারিং এবং কাটিয়া সরঞ্জাম, তবে সরঞ্জামের প্রয়োজনীয়তা বেশি, প্রস্তুতির খরচ বেশি, এবং এটি উচ্চ-মূল্য-যুক্ত পণ্যগুলির উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত।

D. স্ব-প্রচারকারী উচ্চ-তাপমাত্রা সংশ্লেষণ (SHS)
পদ্ধতি ওভারভিউ

স্ব-প্রচারকারী উচ্চ তাপমাত্রা সংশ্লেষণ (SHS) সিলিকন নাইট্রাইড পাউডার উত্পাদন করার জন্য একটি স্বতঃস্ফূর্ত নাইট্রাইডিং প্রতিক্রিয়া প্রচার করতে ইগনিশনের মাধ্যমে উচ্চ তাপমাত্রা তৈরি করতে রাসায়নিক বিক্রিয়ার স্ব-প্রচারের বৈশিষ্ট্যগুলি ব্যবহার করে।

প্রক্রিয়া বৈশিষ্ট্য

এসএইচএস পদ্ধতিতে উচ্চ প্রতিক্রিয়ার গতি এবং কম শক্তি খরচ রয়েছে, তবে প্রতিক্রিয়াটির স্থিতিশীলতা এবং অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণ করা কঠিন। এই পদ্ধতিটি পাউডার উপকরণের বড় আকারের উৎপাদনের জন্য উপযুক্ত এবং প্রধানত উপাদান ভর্তি এবং পাউডার অ্যাটোমাইজেশনের মতো অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়।