সিলিকন নাইট্রাইডের সংশ্লেষণটি প্রথম 1857 সালে হেনরি এডুয়ার্ড সেন্ট-ক্লেয়ার ডিভিল এবং ফ্রেডরিচ ওয়াহলার দ্বারা রিপোর্ট করা হয়েছিল। তাদের সংশ্লেষণে, সিলিকন সহ একটি ক্রুশিবলকে কার্বন দিয়ে ভরা ক্রুশিবিতে স্থাপন করা হয়েছিল এবং অক্সিজেনের অনুপ্রবেশ হ্রাস করার জন্য উত্তপ্ত করা হয়েছিল। তারা এমন একটি পণ্য রিপোর্ট করেছে যা তারা সিলিকন নাইট্রাইড বলে, তবে এর রাসায়নিক রচনা নির্ধারণ করতে অক্ষম ছিল।
1879 সালে, পল শাটজেনবার্গার একটি আস্তরণের উপাদান (একটি পেস্ট যা একটি পেস্ট যা কাঠকয়লা, কয়লা ব্রিকেটস বা কাদামাটির সাথে কোকের সাথে প্রাপ্ত ক্রুশিবল লাইনার হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে) একটি বিস্ফোরণ চুল্লিতে মিশ্রিত করে এবং এটি সিআই 3 এন 4 এর সাথে যৌগ হিসাবে রিপোর্ট করে পণ্যটি পেয়েছিল। 1910 সালে, লুডভিগ ওয়েইস এবং থিওডর এঙ্গেলহার্ট খাঁটি নাইট্রোজেনে প্রাথমিক সিলিকন গরম করে SI3N4 উত্পাদন করেছিলেন। 1925 সালে, ফ্রেডরিচ এবং সিটিগ সিলিকন ডাই অক্সাইড এবং কার্বনকে একটি নাইট্রোজেন বায়ুমণ্ডলে কার্বনের তাপ হ্রাস ব্যবহার করে 1250-1300 ডিগ্রি পর্যন্ত গরম করে সিলিকন নাইট্রাইড সংশ্লেষিত করে।