সিলিকন নাইট্রাইডের সংশ্লেষণ প্রথম 1857 সালে হেনরি এডুয়ার্ড সেন্ট-ক্লেয়ার ডেভিল এবং ফ্রেডরিখ ওহলার দ্বারা রিপোর্ট করা হয়েছিল। তাদের সংশ্লেষণে, সিলিকনযুক্ত একটি ক্রুসিবল কার্বনে ভরা ক্রুসিবলে স্থাপন করা হয়েছিল এবং অক্সিজেনের অনুপ্রবেশ কমাতে উত্তপ্ত করা হয়েছিল। তারা সিলিকন নাইট্রাইড নামে একটি পণ্যের রিপোর্ট করেছে, কিন্তু এর রাসায়নিক গঠন নির্ধারণ করতে পারেনি।
1879 সালে, পল শুটজেনবার্গার একটি ব্লাস্ট ফার্নেসে আস্তরণের উপাদানের সাথে সিলিকন মিশ্রিত (একটি পেস্ট যা কাঠকয়লা, কয়লা ব্রিকেট বা কাদামাটির সাথে কোক মিশিয়ে তৈরি করা হয়, একটি ক্রুসিবল আস্তরণ হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে) গরম করে পণ্যটি প্রস্তুত করেন এবং এটিকে Si3N4 রচনার সাথে একটি যৌগ হিসাবে রিপোর্ট করেন। 1910 সালে, লুডভিগ ওয়েইস এবং থিওডর এঙ্গেলহার্ট বিশুদ্ধ নাইট্রোজেনে মৌলিক সিলিকন গরম করে Si3N4 প্রস্তুত করেন। 1925 সালে, Friederich এবং Sittig একটি নাইট্রোজেন বায়ুমণ্ডলে সিলিকন ডাই অক্সাইড এবং কার্বনকে 1250-1300 ডিগ্রিতে কার্বনের তাপীয় হ্রাস ব্যবহার করে উত্তপ্ত করে সিলিকন নাইট্রাইড সংশ্লেষিত করেন।